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超高潔凈管道

超高潔凈管道

所屬分類：真空半導體
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發布日期：2022/03/16
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高效過濾器必須是以0.1μm塵粒為標準的才能實現超高潔凈度。此外，這種方式由于被凈化的是管道中的空氣，送、回風量很小，可以大幅度地節約能量，是潔凈技術的發展方向，也被稱為第四代凈化方式。

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